ULTRA

半導體級別圖形發生器

The Semiconductor Laser Mask Writer

PSM 二次套刻解決方案

ULTRA特別是針對半導體產業生產掩膜版，是一款更經濟，適合量產化的系統，并且具有高效產能，高精度和更好地均勻性，以及更高的對準系統。

ULTRA更是符合半導體科技產業需要的快速，而且有效結合所有系統，進而量產的基本配備。

ULTRA*小線寬結構可做到500nm，根據寫入速度，*快可達每分鐘 325mm²或 580mm²，同時具備*的CD均勻性、高質量圖像、多層套刻精度以及重復定位精度。

關于我們 - Stella International

Stella International攜手光刻技術領航者-海德堡儀器公司，共同為客戶帶來*的綜合應用效能，同時建立緊密的合作伙伴關系。

為了服務客戶更廣泛多元的應用領域，Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心，以海德堡原廠伙伴技術支援，提供客戶技術交流平臺以及各式前段打樣的基礎研究，

這些年來已服務許多的國內大學，研究所與企業前期研發單位。

介紹

德國海德堡 高精密無掩膜激光直寫設備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德國海德堡設備(Heidelberg Instruments)，創始于1984年，在激光直寫設備的發展和設計上，一直是*的。多年以來，系統設備持續地改良、在各種應用上客制化。

應用范圍包括：微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關領域。

銷售橫跨歐洲、美國、亞洲等過50幾個*、700個以上銷售據點，用于研發、快速原型制作和工業生產系統，是企業研究和發展的*伙伴。