SMC氣控閥VNA201A-F15A-B氣液回路控制用2通閥

SMC氣控閥的工作原理是通過電磁閥換向去驅(qū)動氣動執(zhí)行器，氣動執(zhí)行器帶動閥門，實現(xiàn)閥門的開關(guān)。

該產(chǎn)品通過創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計，大大降低閥關(guān)閉時的沖擊，

從而有效的抑制了微粒的產(chǎn)生。閥主體采用高純PFA材質(zhì)，對應(yīng)高工作壓力及背壓，

兼具結(jié)構(gòu)緊湊、省空間的特點，適用于涂膠顯影、CMP、清洗、濕法蝕刻、藥液供給等Wet相關(guān)各個工藝環(huán)節(jié)，

特別是28nm以下對微粒要求更加嚴(yán)格的工藝制程。

專門用于氣動系統(tǒng)和氣液回路控制

正反向流動都可能的平衡座閥式

氣控式、外部先導(dǎo)式電磁閥

系列 VNA

控制方式 氣控型

閥體材質(zhì) 鋁合金

通口數(shù) 2

使用流體 空氣 / 二氧化碳(0.7MPa以下) / 氮氣 / 透平油 / 液壓油

環(huán)境溫度 -5～60℃

使用流體溫度 -5～60℃

*使用圧力 [MPa] 1 MPa

*低使用圧力 [MPa] 0 MPa

耐壓力 1.5 MPa

C值 23 dm3/(s·bar)

b值 0.25

Cv值 4.8

電磁閥SYJ3120T-5L0Z-M3-Q 

電磁閥SY5120-5FU-C6-X268

氣缸CQ2B16-5D

電磁閥VT307E-5GS1-015

排水閥AD402-04 1.0 MPa

AS3311F-03-08S

AS3311F-03-10S

AS3311F-03-12S

AS4311F-04-8S

AS4311F-04-10S

AS4311F-04-12S

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