庫號：D24622 

微機型電阻冷磁控復(fù)合真空計 ZDF-5214M-IIL 1.0×10 5～1.0×10-7 ZJ-52T/M014A
ZDF5214M-IIL系列復(fù)合真空計
ZDF-5214M4/5214M-IIL 電阻，電離復(fù)合真空計
ZDF-5214M 復(fù)合計，由一路低真空測量電阻（ZJ-52T）單元與一路高真空測量電離（M014A）單元組合，電阻規(guī)單元與電離規(guī)單為獨立測量單元，
ZDF-5214M-IIL復(fù)合計由二路低真空測量電阻（ZJ-52T）單元與一路高真空測量電離（M014A）單元組合，一路電阻規(guī)單元為獨立測量單元，另一路電阻規(guī)單元與1路電離規(guī)單元安裝同一測量點作為復(fù)合測量單元。
該兩種復(fù)合真空計的電源開啟/關(guān)閉與電離的啟動/關(guān)閉即可通過儀器自動操作也可通過外控PLC來實現(xiàn)，為滿足當(dāng)前真空設(shè)備自動化控制的要求，該兩種真空計都具備繼電器控制，串行通訊，模擬量輸出等功能，
性能
電阻規(guī)的零點數(shù)字智能自動校正，電阻規(guī)故障自動判斷，電離規(guī)工作狀態(tài)自動判斷
離規(guī)陽極電壓可控
測量范圍：1.0×105PA～1.0×10-7Pa/建議在范圍內(nèi)設(shè)置
配接規(guī)管：ZJ-52T/玻璃；金屬直插 DN16/25/35CF；DN10/16/25/40KF等不同接口
M014A/ DN35CF 40KF等不同接口；
定值輸出負(fù)載能力：AC220V/3A
控制方式：點控或區(qū)域控制/帶掉電記憶
顯示方式：五位LED數(shù)字顯示，
模擬輸出：0-5V/4-20mA(用戶選配)
通訊接口： RS232/RS-485(用戶選配)
使用環(huán)境：溫度0-10度，濕度小于等于95%
測量范圍：1.0×105～1.0×10-7Pa
配接規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)2只/M014電離規(guī)一只
測量路數(shù)：3路（一路ZJ-52T低真空規(guī)管和一路M014高真空規(guī)管安裝在一個測量點作復(fù)合測量，另一路ZJ-52T 低真空單獨測量
顯示路數(shù)：1個窗口
控制路數(shù)：4
工作電源：AC50Hz / 220V±10% / 60W
面板尺寸：480×88 mm2
機箱尺寸：440（寬）×260（深）×80（高）mm3

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