日本愛發(fā)科（ULVAC）的真空泵類型及用途如下：

一、主要類型

?羅茨真空泵?

代表型號：NB 100A

特點：腔體無潤滑油，適用于水蒸氣、溶劑等氣體；高吸入壓強下可穩(wěn)定運轉(zhuǎn)?

?油旋片式真空泵?

代表型號：GLD-N202

特點：低震動、低噪音，適合半導(dǎo)體鍍膜等精密工業(yè)場景?

?膜片干式真空泵?

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代表型號：DAU-20D

特點：高真空度（0.67Pa），適用于高真空環(huán)境?

?螺桿式干式真空泵?

代表型號：MS1200A/LS1200A

特點：防腐蝕設(shè)計，適合化學(xué)腐蝕性氣體處理?

?兩級排氣真空泵?

代表型號：GLD-040

特點：壓力更低（真空度好），具備防回流機制和穩(wěn)定排氣速度?

二、用途

?半導(dǎo)體與電子制造?：鍍膜、濺射、液晶注入等工藝?

?真空熱處理?：燒結(jié)爐、釬焊爐等高溫環(huán)境?

?干燥與脫氣?：冷凍干燥、真空脫氣等工業(yè)流程?

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?分析儀器與檢漏?：CO?激光設(shè)備、檢漏設(shè)備等精密場景?

?實驗室與科研?：高真空實驗、設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)檢測等?

半導(dǎo)體與電子?：

服務(wù)于真空鍍膜、濺射、離子鍍及氣體置換等精密工藝。

支持晶圓制造中原子級真空環(huán)境控制，提升芯片良品率。

?塑料與包裝?：

用于擠出機除氣、EPS發(fā)泡及真空成型工藝36。

實現(xiàn)真空包裝、吸附搬運及真空鑄造，降低氧化污染風(fēng)險。

三、?醫(yī)藥與食品?

?制藥行業(yè)?：

支撐真空干燥（冷凍干燥、反應(yīng)堆干燥）、蒸餾及晶化/汽化過程。

應(yīng)用于滅菌設(shè)備真空系統(tǒng)及生物制藥中的無菌工藝控制。

?食品加工?：

用于礦泉水除氣、真空脫氣及生鮮真空包裝，延長保鮮周期。

配合冷鏈體系減少食品損耗，菌落數(shù)顯著下降。

四、?其他高精尖領(lǐng)域?

?航空航天與核能?：用于真空隔熱、分子蒸餾及核能源工藝中的無泄露氣體傳輸。

?環(huán)保與科研?：支持燃料電池開發(fā)、溶劑回收及特殊環(huán)境下的精密實驗控制。

?技術(shù)特性?：

采用低噪音設(shè)計、強制供油方式，適應(yīng)全壓強領(lǐng)域連續(xù)運轉(zhuǎn)；

維護便捷，油量調(diào)節(jié)與更換流程優(yōu)化，適配高溫、粉塵等嚴(yán)苛環(huán)境