"Model:LS"真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過獨創的螺桿形狀和節電技術的融合，使該Model產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機型中，您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇*排氣容量的泵。
LS120A
LS300A
LS600A
■大氣壓附近的排氣速度*為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。 （*1）LS120A-C時特點
■標配的消音器能解決干式真空泵特有的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發科獨有技術。
該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■“Model:LS”無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)
■希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。
通過組合使用排氣速度可以達到120～1200m3/h。
（*2）C規格時
（*3）L規格還可以使用稀釋氣體。
“Model:LS”有兩種規格。用途
首先是面向清潔工藝的規格。
為內置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。
其次是面向輕工藝的規格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業用途等。
*1：到達壓力時 LS120A LS300A LS600A LS1200A規格
型式 （C：C式樣）
（L：L式樣）LS120A LS300A LS600A LS1200A C L C L C L C L *排氣速度 m3/h 120 380 600 1000 到達壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1 電源電壓 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V 消費電力
概略值 *1kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7 冷卻水量 L/min >2.0 >4.0 Purge gas 量 *2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 *水蒸氣
處理量 *3kg/h ‐ 1.5 ‐ 1.5 ‐ 1.5 ‐ 1.5 噪音值*1 dB(A) 61 61 62 64 吸氣口 KF50(水平)／
VG50(垂直)ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 KF40 KF40 KF40 質量 kg 6 適用規格 CE、cTUVus 標準附屬品 電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器 本體選配件 電源電壓：200V級或400V級、密封部材質：全氟彈性體(僅用于L型) 外部選配件 MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、
Gas purge
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的*水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應無漏排氣速度曲線
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