技術參數：
1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速電壓：0.1KV-30kV
3.放大倍數：25-100萬倍
4.樣品室尺寸：*200mm直徑樣品
5.束流強度：10-13到2X10-9


主要特點：
1.主動式減震器
2.磁懸浮分子泵系統，無需UPS保護
3.標配的五軸馬達驅動全對中樣品臺
4.全自動樣品更換氣鎖
5.全自動樣品監控系統
6.全自動物鏡光闌
7.多通道顯示系統
8.自動減速系統標準配置